全球半導體行業穩定向好,中國市場如火如荼也帶動了整個潔凈室產業的發展。綜合來看,三因素決定我國半導體行業的高速發展:
1)國內半導體銷售占比和增速遠高于全球平均水平,半導體市場消費基數維持高位。
2)我國半導體設備支出占比小增速快,設備市場增長空間大。
3)半導體貿易逆差持續維持1,600億美元高位,“進口替代”大勢所趨。
層流:層流氣流沿均勻的直線運動??諝馔ㄟ^覆蓋率為的過濾器進入室內,再通過兩側升高的地板或隔斷板返回室內。適用于潔凈室等級要求高的環境。一般來說,潔凈室的等級是1-100。它可以分為兩種類型:
(1)水平層流型:水平氣流由過濾器向一個方向吹出,由對面壁上的回風系統回流,粉塵隨風排出房間。一般來說,污染是嚴重的。
優點:結構簡單,運行后短時間內穩定。
缺點:創造成本高于紊流型,室內空間不易擴展。
(2)直線型層流型:房間的天花板全部被ULPA過濾器覆蓋,空氣從上到下吹,清潔度更高。在不影響其他操作區域的情況下,可快速將操作過程中或操作人員產生的粉塵排出房間。
優點:管理簡單,運行初期狀態穩定,不容易受到運行狀態或操作人員的影響。
缺點:結構造價高,彈性空間難以使用,吊架占用空間合適,維修更換過濾器麻煩。
自動控制設備保證了整個調節過程
凈化工程中空調系統的空氣濾清器阻力隨運行時間的增加而增大。為了保持風量,系統中的氣閥需要調整。凈化工程統一調試啟動系統時,為了使風機空載啟動,需要關閉風機出口的氣閥。風機啟動后,由于空氣閥上的壓力,很難打開。在凈化工程中,選用空氣過濾器前后壓差的變化來控制風機的變頻調速設備,供氣量的調節會變得非常容易,供氣壓力也會變得穩定。
電話和消防設備是必不可少的
在凈化工程中設置電話、對講電話,減少人們在潔凈區行走,減少灰塵量,火災時及時與外界接觸,為正常的操作接觸創造條件。此外,在清潔工程中還應設置火災報警系統,以避免火災造成的不易被外界發現的嚴重經濟損失。
怎樣做到電子無塵車間的清潔衛生?(1)清潔潔凈室墻面時,清潔工程室無塵布應使用。
(2)用90%去離子水和10%異丙醇制備洗滌劑。
(3)使用經批準的凈化工程潔凈室專用去污劑。
(4)每天對無塵車間的垃圾箱及配備的房間進行檢查并及時清理。
(5)每層樓都要吸塵。并在《無塵車間清潔記錄》上注明工作完成情況。例如,從哪里開始,從哪里結束。
(6)清潔無塵凈化工程潔凈室地面時,應先關閉凈化系統,并將專用拖把用于無塵凈化室應使用。
(7)帶過濾器應使用的專用真空吸塵器,用于潔凈室除塵。
(8)潔凈室所有門窗應進行清潔和保養。
(9)潔凈室應每天吸塵、拖地;墻壁、門窗應每周清潔一次。
(10)無塵車間也應真空吸塵并在抬高的地板下擦拭。
(11)電子無塵車間每三個月清潔一次架空地面下的立柱及支撐立柱。
(12)在潔凈室工作時,要始終記得從上往下擦拭,從離門遠的地方往門的方向擦拭。